پروفایلومتر یک دستگاه اندازه گیری پروفایل سطح با استفاده از تیپ متحرک است. در این دستگاه تیپ با سرعت متغیر و مسافت قابل تنظیم روی سطح نمونه حرکت می کند و جابجایی تیپ در راستای z به وسیله سنسور خازنی اندازه گیری می شود. دقت اندازه گیری در راستای z بهتر از 50 نانومتر است. پروفایل نمونه های مختلف اعم از فلز، شیشه، پلاستیک و پوشش ها را می توان اندازه گیری کرد. یکی از مهم ترین کاربردهای دستگاه اندازه گیری ضخامت لایه ها است. در محل هایی از نمونه که یک پله تیز از لایه وجود دارد پروفایلومتر می تواند ارتفاع پله را اندازه گیری کرده و ضخامت لایه را اعلام کند. داده های پروفایلومتر همچنین می تواند برای محاسبه زبری سطوح مورد استفاده قرار گیرد.