RTP
Share this:

دستگاه حرارت دهی سریع در اتمسفر کنترل شده.

Availability: 0 in stock SKU:
دستگاهRTP برای عملیات حرارتی با سرعت بسیار بالا و در شرایط کنترل شده دما و اتمسفر و با قابلیت دسترسی به خلاء بالا مورد استفاده قرار می گیرد. ویژگی RTP نسبت به آنیل های متداول در کوره، حرارت دهی در زمان های بسیار کمتر و دماهای بیشتر است. مکانیسم افزایش دمای سریع با استفاده از لامپ های هالوژن 1000 وات می باشد که در یک تله نوری استوانه ای امکان افزایش سریع دما را میسر می کند. دستگاه در دو مدل RTP-1SS و RTP-1SV ارئه شده است. مدل RTP-1SS می تواند تحت اتمسفر هوا، گاز بی اثر و یا با عبور جریان گاز مورد استفاده قرار گیرد. در مدل RTP- 1SV ایجاد شرایط خلا تا 3-10 تور امکانپذیر می باشد. نمونه در داخل استوانه از جنس کوارتز قرار می گیرد و دمای محل قرار گیری نمونه توسط ترموکوپل اندازه گیری می شود. این دستگاه نیازی به سیستم خنک کن اضافی ندارد و میزان تششعات گرمایی آن در حین استفاده ناچیز است.

کاربردها:
• بهبود بلورینگی لایه های نازک
• فعال کردن آلاینده ها در سیلیکون و نیم رساناهای دیگر
• بهبود مرز مشترک (Interface) بین لایه ها
• آنیل کردن با حداقل میزان دیفیوژن لایه ها
• سلنیوم/ سولفوره کردن لایه های نازک کالکوژنی
• عملیات حرارتی قطعات الکترونیکی

فایل pdf مشخصات فنی را از این لینک دریافت نمایید.


کد

قیمت )تومان)

RTP-1SS

12,033,600

RTP-1SV

21,058,800

قسمت انتخاب شده را پاک کن
شناسه محصول: RTP. دسته: .

اطلاعات بیشتر

مدل

RTP-1SS, RTP-1SV